STMicroelectronics Capteur de pression MEMS LPS25H

Le capteur de pression MEMS LPS25H STMicroelectronics est un capteur de pression absolue piézorésistif ultra-compact. Il inclut un élément de détection et une interface CI capable de tirer des informations de l'élément de détection pour fournir un signal numérique au monde extérieur. L'élément de détection se compose d'une membrane suspendue réalisée dans un seul substrat de mono-silicium. Il est capable de détecter la pression absolue et est fabriqué selon un procédé dédié mis au point par ST. La membrane est très fine comparée aux membranes micro-usinées en silicium fabriquées de façon classique. Un arrêt mécanique intrinsèque empêche la membrane de se rompre. L'interface CI est fabriquée selon un procédé CMOS standard qui permet un haut niveau d'intégration pour concevoir un circuit dédié condensé afin de mieux correspondre aux caractéristiques de l'élément de détection.