TE Connectivity / Measurement Specialties Capteurs de pression 85UHP

Les capteurs de pression de mesure de spécialité 85UHP de TE Connectivity(TE) disposent d'une puce piézorésistive MEMS incorporée dans un module 316 L en acier inoxydable ou en alliage C276 rempli d'huile de silicone, qui transfère la pression à partir d'un mince diaphragme ondulé sur la face avant. Le profil compact, compatible avec les médias et soudable, a été conçu et fabriqué pour FEO pour une durée de processus d'application semiconducteur supérieure à celle de la capsule ISO 85 standard de TE.

Les capteurs de pression Measurement Specialties 85UHP de TE Connectivity(TE) offrent des options de matériaux mouillés et une rugosité de surface optimisée pour les scénarios de pureté ultra élevée et de vide ultra élevé. Ces dispositifs exploitent les capacités avancées MEMS de TE pour offrir une précision et une stabilité inégalées.

Caractéristiques

Stabilité en vide poussé
Surfaces mouillées conformes à la norme F105 (variantes d'alliage C276 )
Température de fonctionnement : de -40 °C à +125 °C

Non-linéarité de la pression jusqu'à ±0,1 %
Fiabilité des semi-conducteurs

Applications

Armoires à gaz
Contrôleur de débit massique
Système de distribution de gaz haute pureté

Contrôle de la pression et du débit dans
Processus Semiconducteur

Caractéristiques techniques

Matériau du matériau en contact avec la surface en acier inoxydable C276 ou 316 L - optionnel
Compensation ou non - optionnel
Haute stabilité sous vide à 10^-3 Pa