Sensirion Contrôleurs/débitmètres massiques SFC5500/SFM5500

Les contrôleurs/compteurs de débit massique SFC5500/SFM5500 de Sensirion sont des dispositifs numériques multigaz basés sur CMOSens®qui mesurent le débit massique de gaz selon le principe de la calorimétrie de l'égalité des échanges de chaleur. Les contrôleurs/débitmètres atteignent des niveaux inégalés de vitesse, de précision et de répétabilité pour un coût système très attractif. Un élément chauffant sur une membrane thermiquement isolée et deux thermopiles situées en amont et en aval sont intégrés sur une seule puce de silicium. En présence d'un débit de gaz, la répartition de la température en amont et en aval est perturbée. Cette asymétrie est ensuite mesurée. Une conception à canal plus large rend le dispositif plus robuste contre les particules, l’encrassement et les gaz humidifiés. En raison de la conception compacte à puce unique et du montage entre les pièces métalliques, les capteurs basés sur CMOSens®sont également très résistants aux perturbations électromagnétiques (CEM).